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應用比下壓能及改變下壓力之單晶矽奈米流道凹槽加工模擬模式建立與實驗研究
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機械工程系
/101/ 碩士
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研究生:
林建廷
指導教授:
林榮慶
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本文創新提出假設不同軸向比下壓能的值約為相同之定值的概念,依據不同軸向的比下壓能理論模式,以及已知奈米級加工深度及刀具形狀,推導出估算奈米級加工單晶矽工件V型溝槽的下壓力及切削力的理論公式。本文先進…
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- 全文公開日期 2018/07/30 (校內網路)
- 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
- 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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